Nhiễu xạ điện tử lựa chọn vùng Nhiễu xạ điện tử

Nhiễu xạ điện tử lựa chọn vùng (Selected area diffraction - SAED) là một phương pháp nhiễu xạ sử dụng trong kính hiển vi điện tử truyền qua, sử dụng một chùm điện tử song song chiếu qua một vùng chất rắn được lựa chọn. Phổ nhiễu xạ sẽ là tập hợp các điểm sáng phân bố trên các vòng tròn đồng tâm quanh tâm là vân nhiễu xạ bậc 0 tạo trên mặt phẳng tiêu của vật kính (hình vẽ). Gọi là nhiễu xạ lựa chọn vùng bởi người dùng có thể dễ dàng lựa chọn một vùng trên mẫu và chiếu chùm điện tử đi xuyên qua nhờ khẩu độ lựa chọn vùng (selected area aperture).

Phương pháp này rất dễ thực hiện trong kính hiển vi điện tử, nhưng nó có một nhược điểm là thực hiện trên một vùng diện tích khá rộng (vì để thực hiện trên một vùng hẹp thì khó tạo chùm điện tử song song) vì thế nếu muốn phân tích cấu trúc từng hạt tinh thể nhỏ thì khó thực hiện.

Với phổ SAED, ta có thể chỉ ra tính chất của mẫu dựa theo đặc trưng của phổ:

  • Nếu phổ là tập hợp các điểm sáng sắc nét thì mẫu là đơn tinh thể (trong vùng lựa chọn)
  • Nếu phổ là các đường tròn liên tục thì mẫu là đa tinh thể, sự tăng kích thước hạt dẫn đến sự sắc nét của phổ.
  • Nếu phổ là các đường tròn nhòe, cường độ yếu thì mẫu là vô định hình